模体功能外形尺寸 300x300x18.5mm基板 厚度1.5mm，300x300mm空间分辨力 0.6-5.0Lp/mm，0.1mmPb低对比度分辨力 12个内径10mm圆孔，范围0.5-7.6%，精度0.01mm动态范围 17个铜阶，范围1/16-16精度0.01mm影像均匀性 15x15mm正方形采样区13个，精度0.005mm

序号：ph883085